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飛秒激光在透明材料內(nèi)制備三維可旋轉(zhuǎn)納米體光柵的方法

1100   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:04
本發(fā)明涉及一種飛秒激光在透明材料內(nèi)制備三維可旋轉(zhuǎn)納米體光柵的方法,屬飛秒激光應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的特點(diǎn)是僅改變?nèi)肷浼す獾拿}沖前沿傾斜和偏振方向即可以在激光焦點(diǎn)區(qū)域得到特定取向的三維納米體光柵結(jié)構(gòu)。入射的飛秒脈沖激光為線偏振光,波長(zhǎng)為800nm,脈沖寬度為100~150fs,脈沖能量為1~6mJ,且脈沖光強(qiáng)空間分布為高斯分布。透明介質(zhì)內(nèi)部輻照區(qū)域經(jīng)機(jī)械拋光和化學(xué)腐蝕后,可以用掃描電子顯微鏡觀測(cè)到納米體光柵的剖面結(jié)構(gòu)來驗(yàn)證結(jié)果。
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“飛秒激光在透明材料內(nèi)制備三維可旋轉(zhuǎn)納米體光柵的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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