本實用新型涉及一種輝光放電離子源裝置。該裝置包括電極部和絕緣部。電極部包括加載正電壓的陽極和加載負電壓的陰極；陽極頂部和陰極底部形成真空狀態(tài)的放電間隙。陰極底部設有與放電間隙相通的陰極孔，頂部設有與陰極孔相通的試劑入口。陽極設有真空腔；陽極頂部設有與放電間隙和真空腔相通的真空差分孔，底部設有與真空腔相通的物料入口。絕緣部將陽極和陰極隔開，一端連接陽極頂部，另一端連接陰極底部。該裝置安裝在化學電離質譜儀前端，產生試劑離子，電離被測物質。該裝置能夠確保電極部實際位置關系的精度，提供一個絕緣并具有密封性能的結構，使得在施加較大電壓的情況下，不至于擊穿，在密閉空間中的稀薄氣體可以發(fā)生輝光放電反應。