本實用新型公開了一種撞靶式超聲速氣流加速低熱固相反應(yīng)裝置，該裝置包括氣流輸送單元、固體物料顆粒輸送單元、反應(yīng)器，反應(yīng)器包括超聲速噴管、混合加速室、靶頭，在超聲速噴管內(nèi)部同軸方向貫穿設(shè)置軸向進(jìn)料管，軸向進(jìn)料管的入口端連接料斗和送粉器，軸向進(jìn)料管的出口端延伸至混合加速室。本實用新型通過控制超聲速氣流中低熱固相化學(xué)反應(yīng)過程，并定量測量相關(guān)參數(shù)，解決了有關(guān)固相合成過程中瞬態(tài)中間相的捕捉和確定、瞬態(tài)中間相的演化步驟、各步驟速率的確定等問題，具有重要的應(yīng)用價值。