本實(shí)用新型公開了一種鈦合金表面改性的等電位針狀陰極輝光放電發(fā)生裝置，包括空心罩體，空心罩體內(nèi)設(shè)有兩列陣列式針狀陰極，空心罩體放于底板上，底板置于直流脈沖滲金屬設(shè)備的陰極架上；空心罩體、底板及陰極架共同置于直流脈沖滲金屬設(shè)備的腔體內(nèi)，直流脈沖電源的負(fù)極與陰極架連接，直流脈沖電源的正極與腔體連接并接地；空心罩體的一側(cè)開有圓孔，腔體的側(cè)壁對應(yīng)圓孔的部位設(shè)有透明窗，正對透明窗的部位設(shè)有紅外測溫儀；腔體的下壁設(shè)有進(jìn)氣口和出氣口。可以在低于鈦合金相變溫度的條件下，對鈦合金進(jìn)行表面合金化的等電位針狀陰極輝光放電，在提高鈦合金表面物理、化學(xué)性能的同時，保證基體材料獲得良好的綜合力學(xué)性能。