本實用新型涉及一種碳?xì)直匦阅艹掷m(xù)性監(jiān)控裝置，屬于化學(xué)氣相沉積技術(shù)領(lǐng)域，裝置包括碳?xì)直赝昂玩u錸熱電偶，碳?xì)直赝鞍ㄌ淄埠蜖t殼，爐殼套裝于套筒外側(cè)，爐殼內(nèi)安裝鎢錸熱電偶，鎢錸熱電偶連接無紙記錄儀。本實用新型可不間斷對碳?xì)直匦阅苓M(jìn)行監(jiān)控，方便、精準(zhǔn)的測量不同部位的碳?xì)直財?shù)據(jù)，數(shù)據(jù)科學(xué)、準(zhǔn)確、誤差少，確保產(chǎn)品及設(shè)備安全。