本實(shí)用新型涉及一種半開式循環(huán)水回水集水箱，屬于化學(xué)氣相沉積爐技術(shù)領(lǐng)域，裝置包括集水箱主體，集水箱主體為倒置梯形結(jié)構(gòu)，集水箱主體頂部連接有回水管路，回水管路的數(shù)量為至少兩個(gè)，回水管路一端連接至集水箱主體頂部，另一端連接至沉積爐各降溫點(diǎn)，集水箱主體底部連接有排水管道，排水管道用于將循環(huán)水排至冷卻降溫系統(tǒng)，排水管道端部設(shè)有過(guò)濾器，過(guò)濾器用于過(guò)濾掉自沉積爐內(nèi)隨循環(huán)水排除的雜質(zhì)。本申請(qǐng)結(jié)構(gòu)能夠集中觀察循環(huán)水出水情況，并對(duì)回水進(jìn)行一定過(guò)濾保證回水無(wú)污染，提高冷卻設(shè)備的壽命，同時(shí)監(jiān)測(cè)循環(huán)水出水溫度、流量，出現(xiàn)異常自動(dòng)報(bào)警并停止加熱，確保沉積爐冷卻效果良好，同時(shí)杜絕設(shè)備損壞情況。