一種用于化學(xué)氣相沉積(CVD)腔室的溫控噴淋頭增強(qiáng)熱耗散,以實(shí)現(xiàn)用電加熱器來(lái)進(jìn)行準(zhǔn)確的溫度控制,所述噴淋頭包括:桿,其具有對(duì)流冷卻流體通路;背板,其熱耦合到所述桿;加熱器,其物理附接到所述背板;面板,其熱耦合到所述背板;以及溫度傳感器,其用于測(cè)量所述面板的溫度。熱量通過(guò)穿過(guò)噴淋頭桿和流體通路的傳導(dǎo)以及從背板的輻射而耗散。溫度控制系統(tǒng)包含位于CVD腔室中的一個(gè)或一個(gè)以上溫控噴淋頭,其具有串聯(lián)連接到熱交換器的流體通路。