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激光法無損檢測真空管真空度的方法

1035   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 08:57:44
本發(fā)明屬于電力無損檢測技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種激光法無損檢測真空管真空度的方法。本發(fā)明主要解決現(xiàn)有的真空度檢測方法存在費時費力,且測量不準確的問題。本發(fā)明方法包括以下步驟:(1)調(diào)整激光器,(2)確定設(shè)定角:利用步進電機帶動測量臂旋轉(zhuǎn),在測量臂上安裝光電管,光電管用于檢測測量激光發(fā)生器照射在真空泡上的反射光,當(dāng)光電管檢測到反射光的最大值時,開始計數(shù)步進電機的脈沖,根據(jù)脈沖數(shù)換算成測量臂的轉(zhuǎn)動角度,即設(shè)定角;(3)將步驟(2)中真空泡換成待檢測的真空泡,重復(fù)步驟(2),得到測量角;(4)根據(jù)偏移角=測量角-設(shè)定角,當(dāng)偏移角為正時,說明真空室內(nèi)真空下降;當(dāng)偏移角為負時,說明真空室內(nèi)真空良好。
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