本文提出一種基于Welch法譜估計(jì)的超薄涂層厚度均勻性無損檢測方法。該方法利用超聲顯微鏡系統(tǒng)進(jìn)行全波采集，對于每一個掃查點(diǎn)獲取的涂層上表面反射回波以及涂層下表面n次反射回波所混疊的超聲A掃信號，利用聚焦探頭的脈沖持續(xù)時間去除A掃信號中的涂層上表面回波信號，得到涂層下表面n次反射回波的信號，聲束反射透射傳播原理如附圖所示。然后對n次反射回波信號進(jìn)行Welch法譜估計(jì)，在Welch功率譜上讀取各個極大值對應(yīng)的頻率，結(jié)合涂層的聲速計(jì)算得到涂層的厚度，并將厚度值轉(zhuǎn)換成對應(yīng)的顏色來表征。最后依次計(jì)算得到各掃描點(diǎn)的厚度值，并用對應(yīng)顏色表示，便可形成用于涂層厚度均勻性的評估C掃描成像圖。該方法簡單實(shí)用，測量速度快，適用于涂層的現(xiàn)場測量。