本發(fā)明公開了一種基于光電檢測(cè)技術(shù)的GIS設(shè)備故障診斷精準(zhǔn)定位方法，包括以下步驟：S1：氣體檢測(cè)：對(duì)GIS設(shè)備的六氟化硫氣體的壓力進(jìn)行檢測(cè)，并對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄，S2：感官檢測(cè)：對(duì)GIS設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的聲音、生銹情況、發(fā)熱情況、部件有無損傷進(jìn)行檢測(cè)，并對(duì)檢測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄，S3：數(shù)據(jù)分析：對(duì)S1和S2中所述的數(shù)據(jù)進(jìn)行綜合分析，當(dāng)數(shù)據(jù)正常時(shí)，需要對(duì)GIS設(shè)備的內(nèi)部進(jìn)行檢測(cè)，S4：超聲波檢測(cè)法：當(dāng)進(jìn)行S3中所述的內(nèi)部檢測(cè)時(shí)，由于GIS設(shè)備內(nèi)部產(chǎn)生局部放電信號(hào)時(shí)。本發(fā)明通過超高頻傳感器對(duì)超高頻電磁波信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)，通過超聲波傳感器來測(cè)量GIS設(shè)備局部放電信號(hào)，能夠準(zhǔn)確的對(duì)放電源進(jìn)行定位，便于及時(shí)排出故障，節(jié)約時(shí)間。