本實用新型屬于電子器件檢測系統(tǒng)領(lǐng)域，公開了一種電子器件表面缺陷檢測系統(tǒng)。所述系統(tǒng)由光源控制模塊A、分光干涉光學(xué)模塊B、樣品控制模塊C和數(shù)據(jù)采集分析模塊D構(gòu)成；光源控制模塊A產(chǎn)生特定頻率的光束，通過分光干涉光學(xué)模塊B分為等頻率等相位的相干光，一束通過樣品控制模塊C中的被測電子器件表面反射，另一束通過反射鏡反射，使兩束反射光產(chǎn)生干涉，數(shù)據(jù)采集分析模塊D接收產(chǎn)生的干涉圖樣。本實用新型的系統(tǒng)可以對電子器件的表面及界面處微小形變進(jìn)行的非接觸式測量，具有高精度、全場、實時、無損檢測等優(yōu)點(diǎn)。