本發(fā)明提供了一種掃描電鏡檢測(cè)葉片輔助裝置及其使用方法，其中掃描電鏡檢測(cè)葉片輔助裝置包括凹槽夾具、寬度墊片、高度墊片；所述凹槽夾具是截面為U形的條狀塊，凹槽夾具的兩側(cè)垂直板上設(shè)置有多個(gè)定位螺孔；所述凹槽夾具內(nèi)底部水平放置有高度墊片，垂直放置有寬度墊片；所述寬度墊片、高度墊片和凹槽夾具長(zhǎng)度相同，寬度墊片、高度墊片的厚度小于凹槽夾具任意一塊板的厚度。本發(fā)明能有效實(shí)現(xiàn)對(duì)葉片的無(wú)損傷檢測(cè)，避免對(duì)葉片進(jìn)行切割，從而避免對(duì)偽缺陷葉片造成損傷，由此降低生產(chǎn)制造成本；便于操作，工作效率高，檢測(cè)質(zhì)量好。