本發(fā)明涉及一種用于測(cè)量薄膜材料相變溫度的裝置，包括襯底、電極、紅外溫度探測(cè)器、激光光源、多普勒探測(cè)器、飛秒脈沖激光光源；襯底用于鋪設(shè)待測(cè)薄膜，電極置于待測(cè)薄膜上，紅外溫度探測(cè)器監(jiān)測(cè)待測(cè)薄膜的溫度；激光光源向待測(cè)薄膜表面斜射探測(cè)光，飛秒脈沖激光光源向同一入射點(diǎn)垂直射入飛秒激光脈沖，從而在薄膜內(nèi)產(chǎn)生聲波，使探測(cè)光在待測(cè)薄膜表面的反射光引起多普勒頻移，多普勒探測(cè)器用于探測(cè)該反射光的多普勒頻移信號(hào)。本發(fā)明測(cè)量裝置及方法利用飛秒激光誘導(dǎo)薄膜產(chǎn)生聲波，利用薄膜晶態(tài)和非晶態(tài)之間折射率的差異，反應(yīng)聲波在一定厚度薄膜內(nèi)傳播一個(gè)來回的時(shí)間差異，通過多普勒探測(cè)器探測(cè)反射光的多普勒頻移信號(hào)，具有快速、無損測(cè)量的優(yōu)點(diǎn)。