本發(fā)明屬于光聲譜無損檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于光聲譜的工件淺表分層成像方法。本發(fā)明利用脈沖激光結(jié)合掃描振鏡在工件表面激發(fā)出光聲信號，根據(jù)不同頻率光聲信號代表的熱波深度分布特性，通過快速傅里葉變換，在聲傳感器采集的光聲信號中篩選峰值譜信息，并以振鏡控制器所控制的脈沖激光光束掃描位置信息作為圖像的像素位置信息，獲得不同深度的累積圖層，通過相鄰累積圖層的差分處理，獲得工件淺表區(qū)域的分層圖像，為工件的表面/亞表面缺陷檢測提供了一種全新的成像解決方案。本發(fā)明不僅可廣泛應(yīng)用于工件的離線表面亞表面缺陷檢測，而且還能應(yīng)用于包括金屬3D打印在內(nèi)的各種激光加工過程的在線監(jiān)測，應(yīng)用前景廣闊。