一種基于波導結構的集成式太赫茲共焦成像裝置及成像方法，屬于太赫茲共焦成像領域。本發(fā)明裝置包括太赫茲輻射源、太赫茲波導管、太赫茲半透半反鏡、太赫茲聚焦透鏡、成像樣品、金屬針孔、太赫茲探測器、數據采集卡、計算機。本發(fā)明將傳統光路中的分立器件集成在太赫茲波導中，使太赫茲共焦成像裝置集成緊湊，解決了目前太赫茲共焦成像技術中存在的結構復雜、體積較大問題。能實現對樣品的高分辨三維成像，獲取成像樣品內部更為豐富的信息，在無損檢測、生物醫(yī)學、安檢等領域具有廣闊的應用前景。