本實(shí)用新型提供了一種高穩(wěn)定性單晶硅壓差傳感器,包括傳感器、傳感器接口和隔離片,傳感器上方中部固定連接有傳感器接口,傳感器左右兩側(cè)均固定連接有隔離片,通過硅油腔內(nèi)部左右兩側(cè)均固定設(shè)有液位傳感器設(shè)置,硅油進(jìn)行壓力的無損傳遞,以實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力差的精確測(cè)量,從而有效改善了壓差傳感器的靜壓性能,進(jìn)而使得上述壓差傳感器的工作穩(wěn)定性得以提高,且液位傳感器設(shè)置能有效監(jiān)測(cè)到硅油的含量多少,便于及時(shí)添加,達(dá)到傳感器工作及時(shí)供給,促進(jìn)提升工作效率,解決了現(xiàn)有的壓差傳感器其在檢測(cè)過程中,往往由于傳感器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)以及芯片的布局,導(dǎo)致傳感器的靜壓性能效果不好,從而致使傳感器在工作過程中的工作穩(wěn)定性較差的問題。
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“高穩(wěn)定性單晶硅壓差傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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