本發(fā)明涉及一種精密氣浮平臺，屬于運輸裝置技術(shù)領(lǐng)域，氣浮平臺包括一個或多個相互平行的支承表面，支承表面包括正壓單元和負壓單元；正壓單元包括壓力出口，壓力出口提供加壓氣體，且用于產(chǎn)生支承被承載物的支承氣膜；負壓單元包括壓力入口，壓力入口提供低于環(huán)境壓力的壓力值，產(chǎn)生與支承氣膜相反的吸附壓力；每一個正壓單元和負壓單元的周圍圍繞有大氣連通槽，大氣連通槽局部排出所述壓力出口的質(zhì)量流量或局部提供壓力入口的質(zhì)量流量，使所述大氣連通槽處的壓力保持為環(huán)境壓力。通過采用上述技術(shù)方案，能讓薄型柔性物體穩(wěn)定、可靠、無接觸地懸浮于氣浮平臺上，實現(xiàn)低摩擦、高精度、無損、高效的支承、運輸、檢測和加工處理。