本發(fā)明提出一種內(nèi)齒圈控制熱處理變形的熱處理方法，其包括步驟：將檢測表面無損傷缺陷的內(nèi)齒圈進(jìn)行清洗后裝爐干燥；干燥后的內(nèi)齒圈送入加熱室進(jìn)行C?N共滲；將圓柱形或環(huán)形芯軸裝入碳氮共滲后的內(nèi)齒圈中，芯軸與內(nèi)齒圈為過盈配合；將裝配有芯軸的內(nèi)齒圈進(jìn)行電磁感應(yīng)淬火；將淬火后的內(nèi)齒圈進(jìn)行回火，回火過程中，芯軸仍然與內(nèi)齒圈裝配在一起；以及，內(nèi)齒圈冷卻至室溫，將芯軸與內(nèi)齒圈分離。本發(fā)明的內(nèi)齒圈控制熱處理變形的熱處理方法，熱處理工藝效率高、效果好且盡可能的避免了內(nèi)齒圈的淬火形變，保證了內(nèi)齒圈的尺寸精度和圓度；特別適合直徑大、厚度比較薄的內(nèi)齒圈的熱處理過程。