本發(fā)明公開了一種電鏡原位加熱裝置結(jié)合焊料的納米焊接方法。本發(fā)明焊接過程均在SEM?FIB中進(jìn)行，利用位于掃描電鏡腔室內(nèi)的原位加熱裝置對(duì)焊接部位進(jìn)行加熱，同時(shí)借助離子束清洗焊接區(qū)域，去除納米材料表層的雜質(zhì)(如焊料表面氧化物，碳類化合物，有機(jī)物等)，只使焊料變成熔融狀態(tài)，而對(duì)母體材料無損傷，通過保溫一定時(shí)間，熔融焊料與同樣被加熱的母體材料發(fā)生持續(xù)且強(qiáng)烈的擴(kuò)散作用，最終實(shí)現(xiàn)焊接納米圖案的目的。本發(fā)明可精確控制加熱溫度，只使低熔點(diǎn)的焊料發(fā)生融化，而對(duì)母體材料無損傷，對(duì)于焊接高熔點(diǎn)的氧化物半導(dǎo)體納米材料具有顯著的優(yōu)勢(shì)。該焊接方法可實(shí)時(shí)觀測(cè)整個(gè)焊接過程，可控性極強(qiáng)且方便快捷，可同時(shí)實(shí)現(xiàn)多處納米圖案的焊接，效率高。