本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體晶圓載流子表面復(fù)合速率的定量成像表征方法，運(yùn)用三通道函數(shù)發(fā)生器，其中的兩個(gè)通道分別產(chǎn)生兩個(gè)頻率為f1和f2的正弦信號(hào)，共同驅(qū)動(dòng)一個(gè)激光器使其發(fā)出調(diào)制激光束用來激勵(lì)待測(cè)半導(dǎo)體晶圓，并在其中產(chǎn)生非平衡載流子；載流子輻射復(fù)合所發(fā)出的動(dòng)態(tài)熒光信號(hào)的圖像由CCD采樣拍攝；函數(shù)發(fā)生器的第三個(gè)通道產(chǎn)生一個(gè)頻率為|f1?f2|的正弦信號(hào)作為參考信號(hào)，對(duì)CCD每個(gè)像素點(diǎn)在幀序列中形成的離散時(shí)域信號(hào)作數(shù)字鎖相運(yùn)算，將頻率為|f1?f2|的信號(hào)分量的幅度提取出來；通過分析不同頻率下的幅度圖像可以得到該晶圓的載流子表面復(fù)合速率定量圖像，可為半導(dǎo)體生產(chǎn)線提供一種非接觸、無損、定量、快速的晶圓表面電學(xué)質(zhì)量評(píng)估與成像表征的方法。