本申請涉及一種金剛石復(fù)相材料表面的加工方法，該加工方法包括：采用機械研磨法對金剛石復(fù)相材料的加工表面進行研磨；采用化學(xué)機械拋光法對研磨后的加工表面進行拋光處理，以使加工表面的粗糙度均值Sa≤1nm，且損傷層厚度基本為零，其中，粗糙度均值Sa為在金剛石復(fù)相材料的取樣面積內(nèi)，測量表面上的各點到基準(zhǔn)表面的高度的絕對值的算術(shù)平均值。該加工方法可以高效率、高精度地加工金剛石復(fù)相材料的表面，且表面基本無損傷，操作簡單，加工成本低，有利于推廣使用。