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薄膜封裝Test key的制作方法和檢測方法

1264   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 09:00:08
本發(fā)明公開了一種薄膜封裝Test key的制作方法和檢測方法,S1:在玻璃基板上制備TFT驅(qū)動器,在制備TFT驅(qū)動器時,玻璃基板邊緣中的襯底層與TFT驅(qū)動器中的SiNx層在同一層,即在制備TFT驅(qū)動器時,沉積在玻璃基板邊緣的SiNx層形成襯底層,再在TFT驅(qū)動器制備像素定義層,像素定義層經(jīng)過曝光顯影蝕刻脫膜形成圖案,然后再在像素定義層的開口處濺射一層陽極;S2:在步驟S1的基礎(chǔ)上制備OLED發(fā)光器件,然后再在OLED發(fā)光器件上制備陰極,其中陰極包含Mg陰極和Ag陰極;S3:在步驟S2的基礎(chǔ)之上沉積薄膜封裝層。本發(fā)明可以高效和快速地檢測出薄膜封裝的OLED顯示器是否失效,以及水氧侵蝕的程度,為后續(xù)維修和使用提供一個方向,并且在器件的開發(fā)方面具有重要意義。
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