本發(fā)明公開了一種檢驗(yàn)β鈦合金高倍組織及缺陷的方法，屬于金屬材料檢驗(yàn)技術(shù)領(lǐng)域。選擇需要檢測的部位取樣，進(jìn)行表面清潔和加工；配制混合酸腐蝕劑，所述的混合酸腐蝕劑由濃硫酸和氟化鈣組成，或者由硝酸、濃硫酸和氟化鈣組成；將加工好的試樣放入配制的混合酸腐蝕劑中，浸蝕5?150s，取出用水沖刷，在10s之內(nèi)去除試樣表面的腐蝕溶液和腐蝕產(chǎn)物，然后洗凈吹干，即可對試樣進(jìn)行高倍組織及缺陷的檢驗(yàn)。本發(fā)明用特定的腐蝕法腐蝕試樣并沖洗后，觀察構(gòu)件表面顯示的高倍組織和缺陷，能夠直觀的觀察到構(gòu)件的組織類型、組織細(xì)節(jié)和可能存在的微觀缺陷，并能夠在鈦合金材料檢驗(yàn)，材料科研及失效分析等領(lǐng)域得到應(yīng)用。