本發(fā)明公開了一種可靠控制半導體激光器輸出功率裝置，系統(tǒng)及方法。它包括緊急停止開關(guān)，它還包括：兩個處理器，分別用于接收緊急停止開關(guān)控制信號，激光功率信號以及狀態(tài)信號；功率信號控制單元，用于接收兩個處理器的功率信號，比較功率信號，控制功率輸出信號；邏輯運算單元，用于分別接收兩個處理器狀態(tài)信號，比較狀態(tài)信號，控制狀態(tài)輸出信號；多路選擇器，用于接收控制狀態(tài)輸出信號，選擇電流信號的通路。本發(fā)明采用兩個處理器以及邏輯運算單元對軟件及硬件狀態(tài)進行檢測比較，在軟件失效或硬件故障都能有效避免錯誤的激光功率輸出，與傳統(tǒng)方案相比既可以使用軟件控制激光輸出功率又能滿足安全規(guī)范要求。