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評估平板顯示產(chǎn)品在制造中靜電放電敏感度的方法

1228   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 09:02:35
本發(fā)明公開了一種評估平板顯示(Flat?Panel?Display,簡稱FPD)產(chǎn)品在制造中靜電放電(Electro?Static?Discharge,簡稱ESD)敏感度的方法,包含以下步驟:A、建立FPD產(chǎn)品在前端制造工序中的電子器件結(jié)構(gòu)仿真模型;B、根據(jù)步驟A的仿真模型建立FPD產(chǎn)品前端制造工序中的ESD失效情形仿真模型;C、根據(jù)步驟B的仿真模型建立FPD產(chǎn)品前端制造工序中的ESD失效敏感度測試方法,采用本發(fā)明,F(xiàn)PD制造工廠可以掌握自己的FPD產(chǎn)品的ESD敏感程度,并據(jù)此可以在工廠中進(jìn)行合理的靜電防護(hù)規(guī)劃設(shè)計(jì),從而實(shí)現(xiàn)FPD產(chǎn)品生產(chǎn)制造階段有效的靜電防護(hù)保護(hù)目標(biāo)。
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