本申請涉及一種GaN功率器件動態(tài)應力老化試驗方法和系統(tǒng)，包括：獲取被測GaN功率器件對應的動態(tài)脈沖電壓應力數(shù)據(jù)與溫度應力數(shù)據(jù)；其中，動態(tài)脈沖電壓應力數(shù)據(jù)用于周期切換被測GaN功率器件的開關(guān)狀態(tài)；根據(jù)動態(tài)脈沖電壓應力數(shù)據(jù)與溫度應力數(shù)據(jù)得到試驗條件；根據(jù)試驗條件對被測GaN功率器件進行動態(tài)應力老化試驗，并采集被測GaN功率器件在應力過程中的電參數(shù)；根據(jù)電參數(shù)與預設(shè)失效閾值進行比較，得到試驗結(jié)果，通過施加更接近被測GaN功率器件實際工況的動態(tài)脈沖電壓應力，更為真實、嚴苛的反映GaN功率器件的可靠性，同時在應力施加過程中在線快速監(jiān)測電參數(shù)的真實退化情況，避免了離線測試與器件快速恢復特性導致測不準的難題。