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蒸鍍控制方法及蒸鍍?cè)O(shè)備

996   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 09:02:37
本發(fā)明公開了一種蒸鍍?cè)O(shè)備及蒸鍍控制方法,包括真空腔體和位于真空腔體內(nèi)部的坩堝;可移動(dòng)擋板,所述可移動(dòng)擋板在坩堝內(nèi)部與坩堝上表面平行設(shè)置,用于盛放蒸鍍材料;氣壓監(jiān)測(cè)裝置,所述氣壓監(jiān)測(cè)裝置與所述真空腔體連接;氣壓傳動(dòng)裝置,所述氣壓傳動(dòng)裝置分別與所述氣壓監(jiān)測(cè)裝置和所述可移動(dòng)擋板連接,用于控制所述可移動(dòng)擋板在坩堝內(nèi)部向上或向下移動(dòng)。通過在蒸鍍?cè)O(shè)備中增設(shè)可移動(dòng)擋板、氣壓監(jiān)測(cè)裝置和氣壓傳動(dòng)裝置,由氣壓監(jiān)測(cè)裝置和氣壓傳動(dòng)裝置通過無縫精密聯(lián)動(dòng)控制,來改變可移動(dòng)擋板在坩堝內(nèi)的移動(dòng)方向和移動(dòng)距離,以維持蒸汽壓強(qiáng)不變,達(dá)到蒸鍍速率恒定的目的,以避免溫度變化帶來對(duì)蒸鍍材料的影響,確保蒸鍍膜層光特性不失效。
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