本發(fā)明公開了一種精準控制金屬下沉的設備，包括：支撐架、加熱裝置、探針、和電性監(jiān)控量測控制模塊，所述支撐架設置在所述加熱裝置上，所述支撐架用于承接晶圓，所述熱板加熱控制單元控制連接于所述熱板，所述探針具有三個針腳，分別為S端、D端和G端，所述電性監(jiān)控量測控制模塊控制連接于所述探針，所述S端用于接地，所述電性監(jiān)控量測控制模塊用于在所述D端輸出固定電壓偏置，所述電性監(jiān)控量測控制模塊用于在所述G端輸出固定偏壓裝置。本發(fā)明通過實時監(jiān)控電流，以在線電流的指標作為回火終點，實現回火過程中對金屬下沉的精準控制，提升產品的性能，避免發(fā)現電性失效的周期長。