本申請?zhí)峁┝艘环N芯片的版圖中插入冗余通孔的方法，所述方法包括：提供待加工芯片的計算機模擬版圖，版圖具有多個通孔；在版圖中的多個通孔周圍插入多個冗余通孔；對插入多個所述冗余通孔后的版圖進行檢查，區(qū)分為合格冗余通孔和缺陷冗余通孔；對缺陷冗余通孔中的至少一部分缺陷冗余通孔進行修正；以及基于修正后的版圖形成芯片的最終模擬版圖。根據(jù)本申請實施方式的芯片的版圖中插入冗余通孔的方法，通過對插入的部分缺陷冗余通孔進行修正，可在芯片版圖上在不違反涉及規(guī)則和電連接的情況下，提高插入的冗余通孔的數(shù)量，進一步降低了通孔失效對芯片良率的影響。