本實用新型公開了一種運行穩(wěn)定的MOCVD加熱器，所述上基板表面垂直穿設有多個連接傳導桿，各個連接傳導桿底端皆固定在下基板上，頂端皆安裝有傳導支架，所述傳導支架穿過隔熱板、且頂端支撐有加熱部件，所述隔熱板通過多個緊固組件與上基板和固定板固定在一起。本實用新型設計結構簡易，經(jīng)實際生產(chǎn)檢驗相較于傳統(tǒng)的加熱器加熱效率提升了60％；隔熱板通過多個新型的緊固組件固定在加熱器上，避免了下隔離陶瓷環(huán)和上隔離陶瓷環(huán)意外受到大的預緊力出現(xiàn)裂痕，進一步避免了受熱時破裂失效，保證了設備的整體正常運行，延長了各部件的使用壽命，從而實現(xiàn)了連續(xù)生產(chǎn)，有效提升了晶元產(chǎn)品的良品率；隨著維護頻率的降低也降低了維護成本，減少了維護工作量。