一種溝渠雙擴散金屬氧化半導(dǎo)體制作方法及裝置，包括如下步驟：摻雜；注膠和研磨；刻蝕；清洗；熱處理；濺射。經(jīng)過在背面的處理工藝，采用熱處理過程后，通過對晶圓片探測數(shù)據(jù)，有效的改善溝渠雙擴散金屬氧化半導(dǎo)體沒有出現(xiàn)源漏(源極和漏極)軟擊穿失效的情況。同時相對應(yīng)所采取的裝置是通過現(xiàn)有的高溫爐就可以實現(xiàn)，不需要特別的購買新設(shè)備或?qū)ｉT的設(shè)備，因此節(jié)省了成本，提高了經(jīng)濟效益。