本發(fā)明公開了一種耐高溫高靈敏柔性碳化硅基溫度傳感器及制作方法，包括編織復(fù)合增韌碳化硅纖維作為增韌碳化硅柔性纖維基底以及鍵合在增韌碳化硅柔性纖維基底正面的鎢錸合金薄膜組成；鎢錸合金薄膜通過熱噴涂與鎢錸合金絲相連，鎢錸合金薄膜表面涂敷鑭鍶鈷氧粉末。本發(fā)明基于熱電效應(yīng)，能在高溫工況下，將溫度以電信號的形式輸出，并通過溫度與輸出電壓的關(guān)系，實現(xiàn)溫度的測量。另外其利用表面成膜技術(shù)，將結(jié)構(gòu)微型化，并添加鑭鍶鈷氧粉末作為保護(hù)層，有效的防止了高溫下的變質(zhì)失效，同時提升熱電效應(yīng)，通過增大熱電信號提升靈敏度。采用增韌碳化硅柔性纖維，在保證高溫工作的同時，保證整體柔性。