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離子注入機(jī)穩(wěn)定性的監(jiān)控方法

1578 編輯：管理員來(lái)源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-19 09:37:12

本發(fā)明公開(kāi)了一種離子注入機(jī)穩(wěn)定性的監(jiān)控方法，包括以下步驟：S1、先取光硅片，并生長(zhǎng)氧化層；S2、對(duì)生長(zhǎng)氧化層的光硅片進(jìn)行離子注入，且將離子注入的濃度峰值注入在硅和氧化層的交界面；S3、進(jìn)行快速熱處理，激活雜質(zhì)，形成導(dǎo)電層；S4、去除氧化層；S5、對(duì)去除氧化層的導(dǎo)電層進(jìn)行電阻值的測(cè)試，確認(rèn)電阻穩(wěn)定性；S6、對(duì)導(dǎo)電層進(jìn)行多次定頻監(jiān)控；本發(fā)明改變現(xiàn)有的注入機(jī)臺(tái)監(jiān)控方式，對(duì)注入機(jī)能量和劑量的穩(wěn)定性監(jiān)控都能起到很好的作用，大大降低因機(jī)臺(tái)的波動(dòng)而造成批量產(chǎn)品的失效報(bào)廢的機(jī)率，具有良好的市場(chǎng)應(yīng)用價(jià)值。

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