一種高效太陽(yáng)能電池用大產(chǎn)能爐管式icp-cvd裝置 技術(shù)領(lǐng)域 1.本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池生產(chǎn)設(shè)備，尤其涉及一種高效太陽(yáng)能電池用大產(chǎn)能爐管式icp-cvd裝置。 背景技術(shù)： 2.目前高效太陽(yáng)能電池主要膜系材料為單質(zhì)硅，晶體結(jié)構(gòu)為非晶或微晶狀態(tài)。而且希望的是更多的微晶狀態(tài)的單質(zhì)硅材料。目前主要的生長(zhǎng)方式是采用平行平板式pecvd設(shè)備(ccp-cvd)，在一定真空度和溫度下，使用硅烷氣體分解得到，此方式由于產(chǎn)生的等離子體密度低，生成的單質(zhì)硅薄膜主要是非晶狀態(tài)且氫含量偏高。較好的方法是采用高密度等離子體放電技術(shù)比如電感耦合等離子體、微波等離子體放電等技術(shù)。電感耦合等離子體由于具有輻射小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、電磁兼容性好等特點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體cvd設(shè)備中。但目前電感耦合pecvd設(shè)備(icp-cvd)產(chǎn)能很小，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片制造，滿足不了太陽(yáng)能電池行業(yè)需要大產(chǎn)能、低成本的要求。 3.現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)： 4.1、對(duì)于鏈?zhǔn)狡叫衅桨錺ecvd設(shè)備： 5.(1)平面載板，提高產(chǎn)能的辦法是采用大的載板，大載板將會(huì)使設(shè)備體積增大、占地面積增大，成本增高；(2)對(duì)于大產(chǎn)能設(shè)備，由于載板面積變大，帶來(lái)放電均勻性、氣流均勻性等難控制的問(wèn)題。 6.2、對(duì)于管式平行平板pecvd設(shè)備： 7.(1)電極放在爐管中，電極板也是工件載板，還是平行極板之間放電。由于電極板間距不能太小，采用多層電極板的方式擴(kuò)大產(chǎn)能，將會(huì)使?fàn)t管直徑增大，而爐管壁強(qiáng)度有限不能太大，產(chǎn)能也會(huì)受限；(2)兩個(gè)電極板都在真空腔體中，電極的引入存在漏電風(fēng)險(xiǎn)；(3)氣流不能均勻噴在每對(duì)電極板之間，存在膜層不均勻的風(fēng)險(xiǎn)，導(dǎo)致影響產(chǎn)品成品率。 8.3、對(duì)于電感耦合pecvd設(shè)備：等離子體在基片上方的腔體內(nèi)由電感放電產(chǎn)生，沉膜區(qū)域受到限制，導(dǎo)致不能實(shí)現(xiàn)大產(chǎn)能沉膜。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素： 9.本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種電感線圈設(shè)在反應(yīng)腔體外部，等離子體放電與載板無(wú)關(guān)，載板結(jié)構(gòu)和布局不再受限制，加熱爐管與反應(yīng)腔體、線圈組成的部件可采用上下多層布置，放在一個(gè)機(jī)架內(nèi)，占地面積小，單位面積內(nèi)的產(chǎn)能大，反應(yīng)腔體內(nèi)不需要設(shè)置電極從而不會(huì)出現(xiàn)電極引入處放電問(wèn)題，鍍膜均勻性好的高效太陽(yáng)能電池用大產(chǎn)能爐管式icp-cvd裝置。 10.為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案： 11.一種高效太陽(yáng)能電池用大產(chǎn)能爐管式ic