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高精度大口徑平面離子束拋光機的制作方法

685   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:常州卓研精機科技有限公司  
2023-09-21 14:10:02
本實用新型涉及離子束拋光機技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種高精度大口徑平面離子束拋光機。 背景技術(shù): 離子束拋光技術(shù)是利用離子濺射原理,通過在真空狀態(tài)下離子源引束產(chǎn)生等離子體能量束流,束流轟擊工件表面產(chǎn)生原子級別的材料去除從而實現(xiàn)光學元件的高精度加工。 傳統(tǒng)的離子束拋光機在對工件的不同面進行拋光采用人工手動翻轉(zhuǎn),這種方式打斷了拋光作業(yè)節(jié)奏,而且費時費力,降低拋光效率,且增大了作業(yè)風險。 技術(shù)實現(xiàn)要素: 本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中離子束拋光機不便同時對工件的多個不同的表面進行拋光的問題,而提出的一種高精度大口徑平面離子束拋光機。 為了實現(xiàn)上述目的,本實用新型采用了如下技術(shù)方案: 一種高精度大口徑平面離子束拋光機,包括底板和殼體,所述殼體固定設置于底板的上表面,所述殼體的內(nèi)部兩端均設置有往復絲桿,兩個所述往復絲桿的兩端均通過第一滾動軸承與對應的所述殼體的側(cè)壁轉(zhuǎn)動連接,兩個所述往復絲桿的桿壁均螺紋套接有滑塊,兩端所述滑塊的內(nèi)側(cè)分別固定設置有離子束發(fā)生器和u型框,所述殼體的左側(cè)上端設置有電機且電機的輸出端與上端所述往復絲桿的左端固定連接,兩個所述往復絲桿的右端均延伸至殼體的外側(cè)且均固定套接有皮帶輪,兩個所述皮帶輪通過皮帶轉(zhuǎn)動連接,所述u型框的內(nèi)部上端兩側(cè)均通過轉(zhuǎn)桿轉(zhuǎn)動設置有u型板,兩個所述u型板的內(nèi)部均設置有壓板,兩個所述壓板的上端均通過第二滾動軸承轉(zhuǎn)動設置有螺紋桿,兩個所述螺紋桿的上端均與對應的u型板的側(cè)壁螺紋連接,兩個所述螺紋桿的上端均延伸至對應的u型板的外側(cè),所述殼體的內(nèi)部兩側(cè)設置有帶動兩個所述u型板轉(zhuǎn)動的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)。 優(yōu)選的,所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)包括齒輪和齒條,兩個所述齒輪均位于對應的u型板的外側(cè)且均與對應的轉(zhuǎn)桿的外側(cè)一端固定套接,所述殼體的內(nèi)部兩側(cè)壁均固定設置有固定板,兩個所述固定板的下表面均設置有液壓缸,兩個所述齒條均固定設置于對應的所述液壓缸的活塞桿末端,兩個所述齒條均與對應的齒輪相匹配。 優(yōu)選的,所述殼體的兩端均固定設置有限位板,兩個所述限位板的內(nèi)側(cè)均開設有滑槽,兩個所述滑塊的外側(cè)一端均延伸至對應的滑槽內(nèi)部。 優(yōu)選的,兩個所述壓板均采用橡膠材質(zhì)制成。 優(yōu)選的,兩個所述螺紋桿的上端均固定設置有轉(zhuǎn)輪。 優(yōu)選的,所述底板的下端兩側(cè)均設置有支撐腳。 與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型提供了一種高精度大口徑平面離子束拋光機,具備以下有益效果: 1、該高精度大
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