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研磨廢水的處理裝置和處理方法與流程

645   編輯:中冶有色網(wǎng)   來(lái)源:江蘇峰科達(dá)技術(shù)股份有限公司  
2023-09-20 16:06:18
1.本發(fā)明涉及廢水回收再利用技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種研磨廢水的處理裝置和處理方法。 背景技術(shù): 2.研磨廢水是一種統(tǒng)稱,在芯片行業(yè)的晶棒、晶圓的制造和封裝測(cè)試過(guò)程中,需要經(jīng)過(guò)切割、研磨、劃片和減薄等工藝,產(chǎn)品經(jīng)過(guò)清洗后會(huì)產(chǎn)生大量的沖洗廢水,該類廢水的主要特點(diǎn)為:高固含量:一般顆粒(ss)含量為300~2000ppm,主要成分以sio2為主,還有一些硅酸鹽、氧化鈣、氧化鎂以及三氧化二鋁等;粒徑極細(xì):該類廢水的顆粒粒徑常規(guī)在0.1~100μm之間,極難沉淀;低有機(jī)物:該類廢水的有機(jī)物含量較低(0.5~3mg/l),通常只含有少量的表面活性劑;低鹽分:由于該類廢水大部分是采用純水或者高純水沖洗,所以該廢水的電導(dǎo)率極低。同時(shí),所述研磨廢水中的cod含量《50mg/l,ph為6~8,石油類物質(zhì)的含量《1mg/l。 3.目前,針對(duì)該類廢水,常用的處理工藝如圖1所示,其是將該類廢水依次經(jīng)過(guò)調(diào)節(jié)池、反應(yīng)池、助凝池和沉淀池進(jìn)行處理后,得到的沉淀經(jīng)過(guò)污泥濃縮池,得到的沉淀和廢水的混合液依次經(jīng)過(guò)清水池和酸堿廢水系統(tǒng)進(jìn)行處理。但是該工藝面臨以下問(wèn)題:1、達(dá)不到直排標(biāo)準(zhǔn)需要再處理,造成資源浪費(fèi);2、藥劑成本大:由于研磨液呈現(xiàn)出較強(qiáng)的穩(wěn)定性需要加入大量的絮凝劑才能起到絮凝作用,這無(wú)疑增加了企業(yè)的投入成本;3、污泥量大:隨著絮凝劑的大量加入,產(chǎn)生的污泥量也隨之增加,使得后續(xù)的污泥處理難度加大。由此可見(jiàn),傳統(tǒng)的處理工藝成本高、處理難度大。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素: 4.本發(fā)明的目的在于提供一種研磨廢水的處理裝置和處理方法,所述處理裝置可以縮減處理工藝成本,降低處理難度。 5.為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明提供以下技術(shù)方案: 6.本發(fā)明提供了一種研磨廢水的處理裝置,包括原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4、產(chǎn)水池5、污泥池6和壓濾機(jī)7; 7.所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、有機(jī)管式膜4和產(chǎn)水池5依次管路連接; 8.所述原水池1、反應(yīng)池2、濃縮池3、污泥池6和壓濾機(jī)7依次管路連接并形成循環(huán)回路。 9.優(yōu)選的,所述原水池1和反應(yīng)池2之間設(shè)置有原水泵8; 10.所述反應(yīng)池2設(shè)置有沉淀劑的加藥進(jìn)口。 11.優(yōu)選的,所述有機(jī)管式膜4通過(guò)管路回連濃縮池3。 12.優(yōu)選的,所述濃縮池3和有機(jī)管式膜4之間通過(guò)管路依次連接有供料泵9和循環(huán)泵10; 13.所述有機(jī)管式膜4通過(guò)管路回連循環(huán)泵10。
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