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氮氧化物檢測(cè)系統(tǒng)及其制備方法與流程

1112   編輯:中冶有色網(wǎng)   來(lái)源:安徽維納物聯(lián)科技有限公司  
2023-10-25 11:50:22
1.本發(fā)明涉及微納傳感應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種氮氧化物檢測(cè)系統(tǒng)及其制備方法。 背景技術(shù): 2.氮氧化物是一種常見(jiàn)的大氣污染物,其來(lái)源主要有雷電等自然過(guò)程和人類活動(dòng)。大氣中的氮?dú)夂脱鯕庠诶纂姯h(huán)境下被激化到活化態(tài),生成氮氧化物;人類活動(dòng)中的石油、化工行業(yè)及機(jī)動(dòng)車輛尾氣排放、硝酸生產(chǎn)、硝化過(guò)程、炸藥生產(chǎn)及金屬表面的硝酸處理等過(guò)程也會(huì)產(chǎn)生氮氧化物,大部分的氮氧化物來(lái)自燃煤排放??刂频趸锱欧偶氨O(jiān)測(cè)其污染情況,能夠改善環(huán)境質(zhì)量、減緩酸雨和灰霾天氣的影響;同時(shí)能夠控制和改善空氣質(zhì)量,為人類生活和生產(chǎn)創(chuàng)造更加清潔的環(huán)境。 3.傳統(tǒng)對(duì)氮氧化物進(jìn)行監(jiān)測(cè)的方法有saltzman法、化學(xué)發(fā)光法和色譜法等,上述方法雖然靈敏度高、檢出限低,但設(shè)備復(fù)雜、價(jià)格昂貴,且不能實(shí)現(xiàn)氮氧化物的連續(xù)監(jiān)測(cè)。表面波傳感器、光纖傳感器、半導(dǎo)體傳感器和電化學(xué)傳感器等化學(xué)傳感器能滿足簡(jiǎn)便、快速、現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)等氮氧化物監(jiān)測(cè)需求。 4.比如相關(guān)技術(shù)中,申請(qǐng)公布號(hào)為cn102012386a的中國(guó)發(fā)明專利申請(qǐng)公開(kāi)了一種基于準(zhǔn)定向三氧化鎢納米帶的氮氧化物氣體傳感器元件的制備方法,實(shí)現(xiàn)步驟為:(1)配制六氯化鎢溶液;(2)調(diào)節(jié)六氯化鎢的摩爾濃度為0.003~0.012m;(3)合成準(zhǔn)定向的鎢氧化物納米線;(4)制備準(zhǔn)定向的鎢氧化物納米線;(5)制備敏感材料漿料;(6)制備準(zhǔn)定向三氧化鎢納米帶基傳感器元件。 5.但目前半導(dǎo)體型氮氧化物傳感器性能較為單一,在組裝成系統(tǒng)后只能進(jìn)行當(dāng)前狀態(tài)的氮氧化物監(jiān)測(cè),不能對(duì)以往氮氧化物污染情況進(jìn)行反饋;此外,一般系統(tǒng)需要額外的顯示元器件對(duì)當(dāng)前氮氧化物污染情況進(jìn)行數(shù)字化顯示。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素: 6.本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于如何在氮氧化物檢測(cè)系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)對(duì)氮氧化物污染情況進(jìn)行數(shù)字化顯示。 7.本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)手段實(shí)現(xiàn)解決上述技術(shù)問(wèn)題的:本發(fā)明提出了一種氮氧化物檢測(cè)系統(tǒng),所述系統(tǒng)包括:半導(dǎo)體傳感器、透明的基片和匹配電阻,所述基片兩端布置有鉑電極,所述半導(dǎo)體傳感器和所述基片并聯(lián)后一端與所述匹配電阻一端連接,所述半導(dǎo)體傳感器和所述基片并聯(lián)后的另一端接入信號(hào)電源正極,所述匹配電阻的另一端接入信號(hào)電源的負(fù)極;所述半導(dǎo)體傳感器的基底晶圓上涂刷有氮氧化物氣敏材料,所述基片上涂刷有電致變色材料。 8.本發(fā)明中半導(dǎo)體傳感器的基底晶圓上涂刷有氮氧化物氣敏材料,基片上涂刷有電致變色材料,分別作為用于檢測(cè)
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