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單晶爐硅料復(fù)投裝置的制作方法

1274   編輯:中冶有色網(wǎng)   來(lái)源:遼寧博芯科半導(dǎo)體材料有限公司  
2023-11-06 15:45:16
1.本實(shí)用新型涉及硅料復(fù)投技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種單晶爐硅料復(fù)投裝置。 背景技術(shù): 2.單晶爐是生產(chǎn)單晶硅棒的主要設(shè)備,在生產(chǎn)單晶硅棒的過(guò)程中向單晶爐內(nèi)所單次添加的次硅料裝入量受限,為了保證單晶硅棒的生產(chǎn)質(zhì)量需要將硅料向單晶爐內(nèi)進(jìn)行復(fù)投操作,從而滿足設(shè)備生產(chǎn)單晶硅棒的硅料需求?,F(xiàn)有的硅料復(fù)投裝置大多數(shù)的形式較為固定,向單晶爐內(nèi)進(jìn)行復(fù)投硅料的顆粒大小也較為固定,不能根據(jù)不同時(shí)間的生產(chǎn)需求將不同顆粒的硅料投入到單晶爐內(nèi)。為此,我們提出一種單晶爐硅料復(fù)投裝置。 技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素: 3.本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶爐硅料復(fù)投裝置,以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。 4.為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種單晶爐硅料復(fù)投裝置,包括底座,所述底座的表面通過(guò)支撐架固定裝配有底板,所述底板的頂部固定裝配有儲(chǔ)料桶,所述儲(chǔ)料桶的內(nèi)腔開(kāi)設(shè)有儲(chǔ)料腔和裝配腔,所述儲(chǔ)料腔的底部開(kāi)設(shè)有貫穿至裝配腔內(nèi)的連接孔,所述裝配腔的側(cè)壁開(kāi)設(shè)有貫穿儲(chǔ)料桶的開(kāi)口槽,所述儲(chǔ)料腔內(nèi)裝配有儲(chǔ)料架,所述裝配腔內(nèi)固定裝配有與儲(chǔ)料架相傳動(dòng)連接的傳動(dòng)機(jī)構(gòu),所述裝配腔內(nèi)固定裝配有連接組件,所述裝配腔內(nèi)通過(guò)連接組件固定裝配有貫穿開(kāi)口槽的加料管。 5.優(yōu)選的,所述儲(chǔ)料架內(nèi)開(kāi)設(shè)有第一料倉(cāng)、第二料倉(cāng)和第三料倉(cāng),所述第一料倉(cāng)、第二料倉(cāng)和第三料倉(cāng)的底部分別開(kāi)設(shè)有出料孔。 6.優(yōu)選的,所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸,所述傳動(dòng)軸固定連接在儲(chǔ)料架的底部,所述傳動(dòng)軸的底部固定連接有傳動(dòng)齒輪,所述裝配腔的內(nèi)腔固定裝配有電機(jī),所述電機(jī)的輸出端固定連接有驅(qū)動(dòng)齒輪,所述驅(qū)動(dòng)齒輪與傳動(dòng)齒輪相互嚙合。 7.優(yōu)選的,所述連接組件包括連接頂部架,所述連接頂部架固定裝配在裝配腔內(nèi),所述連接頂部架內(nèi)一體成型有連接管,所述連接頂部架的底部四角處一體成型有連接軸,所述連接軸內(nèi)滑動(dòng)連接有伸縮軸,所述伸縮軸的底端與連接底部架固定連接,所述伸縮軸與連接軸的內(nèi)腔之間固定裝配有彈簧,所述連接底部架內(nèi)開(kāi)設(shè)有導(dǎo)料槽,所述連接管插接至導(dǎo)料槽內(nèi),所述加料管固定裝配在底部連接架的側(cè)壁,所述底部連接架的側(cè)壁固定裝配有振動(dòng)電機(jī)。 8.優(yōu)選的,所述底座的底部四角處固定裝配有移動(dòng)輪,所述底座的表面焊接固定有把手架。 9.優(yōu)選的,所述儲(chǔ)料桶的頂部裝配有蓋板,所述蓋板的表面固定裝配有把手塊。 10.與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:一種單晶爐硅料復(fù)投裝置,在儲(chǔ)料架內(nèi)設(shè)置有第
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