本發(fā)明公開了一種高純氧氣一體化制備工藝，包括以下步驟：1)純度為99.5％的液氧進(jìn)入到低溫液體儲(chǔ)槽，操作壓力為0.6?1.44MPa，操作溫度為?162℃；低溫液體儲(chǔ)槽內(nèi)的液氧送入汽化器氣化，氣化后的氧氣進(jìn)入處理器內(nèi)進(jìn)行過濾處理，處理后的氧氣到凈化器內(nèi)進(jìn)行凈化；2)所述凈化器處理后的氧氣進(jìn)行純化檢測化驗(yàn)，檢驗(yàn)合格后將純化后的氧氣送入隔膜壓縮機(jī)，進(jìn)行0mpa?15mpa加壓，裝入真空氣瓶；3)對裝入真空氣瓶內(nèi)的氧氣進(jìn)行化驗(yàn)，合格，送庫保存；本發(fā)明充分考慮了各方面因素以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)高純氧氣的步驟簡潔、平穩(wěn)、高效、低能耗的運(yùn)行。