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用于濺射透明導(dǎo)電薄膜的靶材

733   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:29:40
本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N用于濺射透明導(dǎo)電薄膜的靶材,包括氧化物組分、硫化物組分、顆粒添加組分,并且引入核殼結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換材料顆粒,核殼結(jié)構(gòu)的殼由拓?fù)浣^緣體形成,所述殼結(jié)構(gòu)中的拓?fù)浣^緣體在顆粒表面形成高導(dǎo)電區(qū)域,并且對(duì)各個(gè)材料作進(jìn)一步限定,降低了透明導(dǎo)電薄膜的靶材制備成本的問題,并且賦予透明導(dǎo)電薄膜能夠?qū)⑼ㄟ^透明導(dǎo)電薄膜的非可見光波段轉(zhuǎn)化成可見光,使透明導(dǎo)電薄膜在光應(yīng)用領(lǐng)域更廣泛。
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