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用于感測(cè)元件的氧化鋁擴(kuò)散阻擋體

815   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:29:44
本發(fā)明涉及用于感測(cè)元件的氧化鋁擴(kuò)散阻擋體。本發(fā)明還涉及用于溫度感測(cè)器的感測(cè)元件,包括具有施加于其的鉑彎曲體的基底。氧化鋁擴(kuò)散阻擋體(ADB)覆蓋彎曲體以提供抵抗污染的保護(hù)和結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性,其中氧化鋁擴(kuò)散阻擋體是連續(xù)的多晶層,其由氧化鋁和以重量計(jì)約1%的金紅石添加劑制成以基本上避免網(wǎng)狀孔隙。連續(xù)的多晶層包括具有典型在0.5?3μm范圍內(nèi)的晶粒尺寸的晶粒。制造氧化鋁擴(kuò)散阻擋體的方法包括以下步驟:將納米氧化鋁和納米金紅石粉末組合以產(chǎn)生配制物;將配制物施加于鉑彎曲體以形成層;將該層燒結(jié)以產(chǎn)生覆蓋鉑彎曲體的連續(xù)的多晶層。
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