本發(fā)明涉及一種超純亞微米級(jí)硅微粉泡沫化的制備方法，其特征在于：（1）選取高純石英砂為原料；（2）用擦洗機(jī)洗礦，用過濾機(jī)脫水，清洗介質(zhì)為去離子水，得到高純石英砂；（3）在攪拌磨中濕法磨礦，分散介質(zhì)為去離子水，加1~6%硅烷偶聯(lián)劑，得D50≤0.8μm、D100≤8μm料漿；（4）將漿料加入分散機(jī)，加1~5%起泡劑、0.25~1.0%泡沫穩(wěn)定劑、0.25~1.0%泡沫粘度促進(jìn)劑，攪拌形成穩(wěn)定的泡沫化料漿；（5）將泡沫化料漿加到烘干機(jī)，烘干溫度≤200℃，隨后加到氣流粉碎機(jī)中解聚分級(jí)即可。本發(fā)明優(yōu)點(diǎn)：有效解決干燥過程中粉體團(tuán)聚的行業(yè)性難題，省略了必不可少的打散工藝，工藝簡(jiǎn)單、成本低；超純亞微米硅微粉D50≤0.5μm、D100≤5μm，可用于EMC及CCL等高端電子領(lǐng)域。