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金剛石-碳化硅復(fù)合材料、制備方法以及電子設(shè)備

3814   編輯:中冶有色網(wǎng)   來源:中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所  
2022-03-18 15:42:59
權(quán)利要求 1.金剛石-碳化硅復(fù)合材料制備方法,其特征在于,包括: 將金剛石粉和碳化硅粉加入預(yù)先配制的凝膠預(yù)混液,其中,所述金剛石粉和所述碳化硅粉的重量比為(10~80):(20~90); 將所述凝膠預(yù)混液進行濕法球磨制備漿料; 將所述漿料注入模具成型得到金剛石-碳化硅預(yù)制坯體; 將所述金剛石-碳化硅預(yù)制坯體在真空環(huán)境下進行無壓浸滲硅材料得到金剛石-碳化硅燒結(jié)體。 2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石-碳化硅復(fù)合材料制備方法,其特征在于,所述凝膠預(yù)混液為丙烯酰胺凝膠體系預(yù)混液,還包括: 配置丙烯酰胺凝膠體系預(yù)混液,丙烯酰胺凝膠體系預(yù)混液中含有丙烯酰胺和亞甲基雙丙烯酰胺,其中,所述丙烯酰胺和所述亞甲基雙丙烯酰胺分別占粉體總質(zhì)量的2~10%、0.2~1%,其中,所述粉體體積與所述丙烯酰胺凝膠體系預(yù)混液體積共為100%。  3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金剛石-碳化硅復(fù)合材料制備方法,其特征在于,所述將所述漿料注入模具成型得到金剛石-碳化硅預(yù)制坯體,包括: 對所述漿料進行真空除氣,向所述漿料中加入催化劑和引發(fā)劑,將所述漿料注入模具成型,干燥后得到所述金剛石-碳化硅預(yù)制坯體。  4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石-碳化硅復(fù)合材料制備方法,其特征在于,還包括: 利用高溫裂解預(yù)燒結(jié)法對所述金剛石-碳化硅預(yù)制坯體進行脫脂處理,其中,脫脂溫度控制低于金剛石石墨化溫度且所述脫脂溫度在1410℃~1450℃范圍內(nèi)。  5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金剛石-碳化硅復(fù)合材料制備方法,其特征在于,所述將所述金剛石-碳化硅預(yù)制坯體在真空環(huán)境下進行無壓浸滲硅材料得到金剛石-碳化硅燒結(jié)體,包括: 在所述金剛石-碳化硅預(yù)制坯體的上表面和/或下表面鋪設(shè)硅材料,在真空氣氛下進行高溫?zé)o壓液態(tài)浸滲,由所述硅材料形成的硅液自發(fā)滲入所述金剛石-碳化硅預(yù)制坯體,并在金剛石表面形成碳化硅薄層,得到具有金剛石-碳化硅-硅界面層的金剛石-碳化硅燒結(jié)體。  6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的金剛石-碳化硅復(fù)合材料制備方法,其特征在于,還包括: 所述丙烯酰胺和亞甲基雙丙烯酰胺分別占粉體總質(zhì)量的5%和0.4%;所述碳化硅粉和所述金剛石粉以質(zhì)量分?jǐn)?shù)為16:84的比例加入丙烯酰胺凝膠體系預(yù)混液,所述
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