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磁控濺射制備納米多孔金屬薄膜的方法

803   編輯:管理員   來源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:33:13
一種制備納米多孔金屬薄膜的方法,通過磁控濺射工藝制備。本發(fā)明的方法制作工藝簡單,并可以常溫下制備出納米多孔金屬薄膜;所制備的多孔金屬薄膜具有超薄、比表面積大、活性高、膜層均勻、易于微器件集成等特點(diǎn),可以應(yīng)用于催化、新能源領(lǐng)域,并可以直接作為超級(jí)電容器材料制備微型電容電極。
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