本發(fā)明公開了一種貴金屬靶材的修復(fù)方法,其方法為:將實(shí)施濺射后形成具有濺射損耗區(qū)的貴金屬靶材進(jìn)行堿洗除油,清水沖洗,無水乙醇脫水,用上部保護(hù)罩和底部保護(hù)罩對(duì)所述貴金屬靶材實(shí)施惰性氣體氬氣保護(hù),用氬弧焊槍的鎢極使與靶材材質(zhì)相同的絲材和靶材的局部熔化,并堆積在所述損耗區(qū)內(nèi),這樣反復(fù)進(jìn)行堆積,使所述損耗區(qū)逐漸堆平,最終成為堆積態(tài)。本發(fā)明方法易操作,過程簡(jiǎn)單,無污染,成本低;修復(fù)過程中貴金屬材料幾乎不損耗,能夠?qū)崿F(xiàn)靶材的反復(fù)使用,大幅度提高了靶材的利用率;修復(fù)后的靶材無裂紋,無氣孔;填充的貴金屬材料與原濺射靶的界面為焊接態(tài)的冶金結(jié)合,不會(huì)出現(xiàn)脫層等現(xiàn)象。