本發(fā)明提供一種與鍺結(jié)合的空間用砷化鎵太陽電池電極制備方法，包括腐蝕以鍺為襯底的外延片，用真空法在外延片的非有源表面制備金接觸層和銀層，用電鍍法在銀層上制備銀加厚層，最后進行將制備好銀加厚層的外延片進行熱處理，得到與鍺結(jié)合的空間用砷化鎵太陽電池電極。本發(fā)明的有益效果是：該電極能夠采用真空法(真空蒸鍍法或磁控濺射法等)和非真空法(電鍍法等液相生長薄膜的方法)相結(jié)合進行制備，能提高材料利用率、降低生產(chǎn)成本、在不采購大型設(shè)備的前提下提高產(chǎn)能；能夠?qū)崿F(xiàn)電極和襯底材料間形成歐姆接觸，并且接觸面間牢固度滿足空間使用要求；產(chǎn)品可靠性高。