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AlCr+α-Al₂O₃濺射靶材及制備與應用

920 編輯：管理員來源：中冶有色網(wǎng)

2023-03-18 15:00:02

本發(fā)明屬于金屬及其氧化物涂層技術領域，公開了一種AlCr+α?Al2O3濺射靶材及制備與應用。所述濺射靶材由10～20wt％的α?Al2O3，36.2～40.7wt％的Cr和43.8～49.3wt％的Al組成。將Al粉、Cr粉與α?Al2O3粉經(jīng)混粉、加壓燒結，得到致密AlCr+α?Al2O3濺射靶材。所得AlCr+α?Al2O3濺射靶材通過射頻磁控濺射在基體溫度520～600℃和10％～15％O2分壓下沉積可沉積出單相納米α?(Al,Cr)2O3薄膜，所沉積的薄膜硬度高，韌性好。

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