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自潔性多孔真空吸盤及其制備方法

1086   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 15:00:02
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種自潔性多孔真空吸盤及其制備方法。所述自潔性多孔真空吸盤,包括基座以及設(shè)于基座上的多孔金屬吸附板,所述基座中部設(shè)有沉臺(tái),多孔金屬吸附板卡接于沉臺(tái)內(nèi);所述基座的沉臺(tái)中部設(shè)有貫穿基座的抽氣孔,沉臺(tái)上表面設(shè)有十字交叉槽和若干沿豎直向下延伸的同心環(huán)形凹槽,所述十字交叉槽貫穿環(huán)形凹槽和抽氣孔。本發(fā)明的多孔真空金屬吸盤,其多孔金屬吸附板內(nèi)部縱橫交錯(cuò)的通道以及吸盤基座腔體上通氣溝槽表面均沉積了PTFE防粘涂層,能夠解決目前主流多孔真空陶瓷吸盤,微孔易堵塞且不易清潔的問(wèn)題。
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