本發(fā)明涉及一種方法、一種涂覆裝置和一種處理設(shè)備。根據(jù)實施方案的不同形式，方法(100)可包括以下步驟：在涂覆區(qū)域(803)和收集區(qū)域(805)中產(chǎn)生真空；以第一主傳播方向(102e)發(fā)射固體顆粒穿過涂覆區(qū)域(803)進入收集區(qū)域(805)；以第二主傳播方向(104e)蒸發(fā)涂覆材料進入涂覆區(qū)域(803)，其中第一主傳播方向(102e)和第二主傳播方向(104e)相互成一角度延伸，使得涂覆材料蒸發(fā)繞過收集區(qū)域(805)。