本發(fā)明涉及一種提純硅廢料制備高純硅的方法,以含硅90%以上的塊狀的單晶硅尾料或堝底料作為原料,進(jìn)行真空蒸發(fā)及定向冷凝精煉提純處理,首先加熱到原料的熔點(diǎn)以上,在真空狀態(tài)下保溫進(jìn)行真空蒸發(fā),去除易揮發(fā)的雜質(zhì),然后再拉伸冷卻進(jìn)行真空定向冷凝精煉提純處理,使得金屬雜質(zhì)富集于一端,既除去了非金屬雜質(zhì),又除去了金屬雜質(zhì),制備得純度在99.999%以上的高純硅。